SPECTRO公司开发的固定式X射线荧光光谱仪是基于偏振能量色散X荧光光谱仪（ED－XRF）的分析方法。X射线管或放射性同位素源中发出的X射线激发固体、液体、粉末样品中的原子。为了提高初次激发的灵敏度，可在X射线管与样品之间放置耙子，使发射光产生偏振。由原子发射的各元素X射线偏振信号通过光电电离之后，通过固定式半导体检测器或封气正比计数器检测出来。

    每种元素的发射强度与样品中的元素含量成正比，通过预先设置好的校正曲线计算出来，可直接显示含量。